物鏡
處于樣品室下面,緊貼樣品臺,是電鏡中的個成像元件,在物鏡上產(chǎn)生哪怕是極微小的誤差,都會經(jīng)過多級高倍率放大而明顯地暴露出來,所以這是電鏡的一個重要部件,決定了一臺電鏡的分辨本領(lǐng),可看作是電鏡的心臟。
特點(diǎn) 物鏡是一塊強(qiáng)磁透鏡,焦距很短,對材料的質(zhì)地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標(biāo)的問題,便是對物鏡的性能設(shè)計(jì)和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便于樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。
掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(Au E)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。以上信息由專業(yè)從事掃描電鏡技術(shù)服務(wù)的科銳諾于2025/1/7 17:51:49發(fā)布
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